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上风口圆周上分为若干个风道
发布时间:2019-10-09  浏览次数:

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  从动风环布局上采用双风口体例,此中下风口风量连结恒定,上风口圆周上分为若干个风道,每个风道由风室、阀门、电机等构成,由电机驱动阀门调整风道启齿度,节制每个风道风量大小。

  节制过程中,由测厚探头检测到薄膜厚薄信号传送到计较机,计较机把厚薄信号取当前设定平均厚度进行对比,按照厚薄误差量以及曲线变化趋向进交运算,节制电机驱动阀门挪动,当薄膜偏薄时,电机正向挪动,风口关小。

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  相反,电机反向挪动,风口增大,通过改变风环圆周上各点风量大小,调整各点冷却速度,使薄膜横向厚薄误差节制正在方针的范畴。